10月28日-30日，2025 VisionChina機(jī)器視覺展在深圳國(guó)際會(huì)展中心舉行。凌云光以“為半導(dǎo)體檢測(cè)裝上智慧之眼"為主題攜新品亮相。
面對(duì)芯片外觀檢測(cè)中對(duì)色彩還原度與一致性的極致要求，本次帶來了JAI棱鏡分光技術(shù)面陣成像解決方案。該方案的核心在于JAI Apex系列面陣相機(jī)，通過物理分光將光線分為R、G、B三個(gè)獨(dú)立通道，由三顆傳感器分別捕捉真彩圖像，從根本上杜絕了色彩串?dāng)_與偽色問題。
這不僅實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)超傳統(tǒng)相機(jī)的色彩保真度，更能以一機(jī)替代多工位配置，在高效檢出微米級(jí)色差、鍍膜異常等缺陷的同時(shí)，為客戶顯著節(jié)約了綜合成本。
除了能夠精確分離RGB三色光之外，還可以一次性獲取可見與近紅外光譜數(shù)據(jù)，支持多光譜融合與分析，拓展成像與檢測(cè)維度。
# 引線框架高速檢測(cè)：線掃成像解決方案
在芯片封裝環(huán)節(jié)，引線框架的高速檢測(cè)對(duì)成像系統(tǒng)提出了嚴(yán)苛的穩(wěn)定性與速度要求。為此，JAI推出的高速檢測(cè)方案，采用高性能線陣相機(jī)，以16K分辨率與100kHz行頻的強(qiáng)大性能，確保在生產(chǎn)線全速運(yùn)行時(shí)，仍能穩(wěn)定輸出高清、完整的彩色圖像。
該方案通過“一機(jī)多光、多圖同源"的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，在大幅節(jié)省工位與成本的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)刮痕、異物、氧化沾污等多種細(xì)微缺陷的實(shí)時(shí)高效識(shí)別，成為保障封裝質(zhì)量與生產(chǎn)節(jié)拍的“高速質(zhì)量守門員"。
# 晶圓引導(dǎo)切割檢測(cè)：紅外成像解決方案
短波紅外成像技術(shù)憑借其對(duì)硅材料的高穿透性，能夠透過晶圓表面，清晰呈現(xiàn)內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷，因此在半導(dǎo)體前、后道制造中具有不可替代的價(jià)值。短波紅外面陣相機(jī)廣泛應(yīng)用于曝光機(jī)Mark點(diǎn)定位、激光隱切設(shè)備的切割道引導(dǎo)、鍵合對(duì)位等關(guān)鍵任務(wù)，實(shí)現(xiàn)從“表觀檢測(cè)"到“內(nèi)部洞察"的跨越。
凌云光本次展出的眼鏡蛇CB2000系列短波紅外面陣相機(jī)，成像波段覆蓋300–1400nm，兼具可見光與近紅外捕捉能力。憑借640x512分辨率與15μm像元設(shè)計(jì)，該相機(jī)在晶圓正切與背切等多種切割場(chǎng)景中均表現(xiàn)出優(yōu)良的適應(yīng)性。通過實(shí)時(shí)反饋切割過程數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可輔助優(yōu)化工藝參數(shù)，有效減少熱損傷，提升切割良率與工藝可控性。
在產(chǎn)品布局方面，凌云光已構(gòu)建完善的短波紅外視覺產(chǎn)品線，共包含11款機(jī)型，分辨率覆蓋線陣（512/1K/2K）與面陣（0.3M/1.3M/5M），并提供GigE、Camera Link、USB3.0等多種接口選項(xiàng)，充分滿足不同系統(tǒng)在集成復(fù)雜度與引導(dǎo)速率方面的多樣化需求。
目前，該產(chǎn)品線已成功應(yīng)用于光伏片隱裂檢測(cè)、晶圓鍵合氣泡識(shí)別、激光光斑分析及農(nóng)產(chǎn)品分選等多個(gè)專業(yè)領(lǐng)域，為不同行業(yè)的無損檢測(cè)提供了高性價(jià)比的視覺解決方案。
本次展出的方案，分別針對(duì)“看得準(zhǔn)"、“看得快"、“看得透"三大維度，是凌云光深耕半導(dǎo)體機(jī)器視覺領(lǐng)域的技術(shù)縮影。從晶圓制造到芯片封裝，凌云光正致力于以覆蓋可見光、紅外、線陣與面陣的完整視覺產(chǎn)品矩陣，為半導(dǎo)體全工藝鏈條提供從“看見"到“洞察"的可靠視覺底座。
VisionChina機(jī)器視覺展
精彩持續(xù)進(jìn)行中
明年3月上海見
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